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    平顶光束整形器

    光束整形器可将(准)高斯分布的入射激光转变成任意波前形状的激光输出(圆形,方形,正方形和线性),光束光强分布均匀,具有陡峭的边缘。

    光束整形器可将(准)高斯分布的入射激光转变成任意波前形状的激光输出(圆形,方形,正方形和线性),光束光强分布均匀,具有陡峭的边缘。均匀分布的光斑在光处理过程中具有很大的优势,可以有效排除特殊区域的过量曝光或曝光不足。另外,陡峭的光束边缘使光处理区域和非处理区域的界限更加明显。

    光束整形器可以分为:光束聚焦整形器,角光束整形器(平顶分布)和M整形器。

    光束整形器

    标准聚焦整形元件

    型号 波长[nm] 入射光斑直径[mm] 工作距离[mm] 聚焦光斑大小 元件直径[mm] 像形状
    TH-042-U-Y-A 355 2.5 50 50 um 25.4 圆形
    TH-245-U-Y-A 355 12 50 45x10um 25.4 长方形
    ST-202-U-Y-A 355 14 50 50x6 um 25.4 长方形
    ST-203-I-Y-A 1064 6 52 50x50 um 25.4 方形
    ST-204-Q-Y-A 532 6 52 30 x 30 um 25.4 方形
    TH-241-W-Y-A 266 8 200 1mm 25.4 线形
    TH-235-U-Y-A 355 12 700 10mm 27.94 线形
    ST-209-Q-Y-A 532 2 104.76 150x200um 12.7 长方形
    ST-211-A-Y-A 10600 11 38 125x200um 27.94 长方形
    ST-215-U-Y-A 355 14 47.8 6x34um 25.4 长方形
    ST-216-U-Y-A 355 14 47.8 6x38um 25.4 长方形
    ST-217-U-Y-A 355 14 47.8 6x42um 25.4 长方形
    TH-234-A-Y-A 10600 14 95 250um 27.94 圆形
    TH-233-A-Y-A 10600 12 63.5 0.25x2.5mm 27.94 长方形
    TH-223-A-Y-A 10600 2.4 565 27.8x27.8mm 15 方形
    TH-222-Q-Y-A 532 2.9 40 200um 12.7 线形
    TH-219-A-Y-A 10600 12 63.5 0.25x1.5mm 27.94 长方形
    TH-217-U-Y-A 355 2 100 100x100um 12.7 方形
    TH-009-A-Y-A 10600 10 63.5 280x280 um 27.94 方形
    TH-011-A-Y-A 10600 25 250 3 mm 38.1 圆形
    TH-216-Q-Y-A 532 12 720 10x10mm 25.4 方形
    TH-014-I-Y-A 1064 7 42.52 190 um 20 圆形
    TH-017-I-Y-A 1064 39 20000 635x5.3 mm 50 长方形
    TH-018-I-Y-A 1064 13 20000 635x635 mm 38.1 方形
    TH-019-I-Y-A 1064 3.5 100 210x210 um 25.4 方形
    TH-209-U-Y-A 355 9x6 200 100 um 25.4 圆形
    TH-208-A-Y-A 10600 13 150 5 mm 27.94 线形
    TH-207-U-Y-A 355 3.5 99.35 200x200 um 25.4 方形
    TH-034-Q-Y-A 532 2.5 99.5 100x100 um 25.4 方形
    TH-035-Q-Y-A 532 2.5 99.5 90 um 25.4 圆形
    TH-036-Q-Y-A 532 3.5 100 200x200 um 25.4 方形
    ST-201-A-Y-A 10600 16.5 187.5 360um 38.1 圆形
    TH-043-U-Y-A 355 8 49.8 15 um 20 圆形
    TH-205-A-Y-A 10600 4 100 1.5mm 25.4 圆形
    TH-045-U-Y-A 355 1.65 94 170x170 um 12.7 方形
    TH-046-U-Y-A 355 2.5 95 61x61um 12.7 方形
    TH-051-W-Y-A 266 5 42 15 um 25.4 圆形
    TH-101-I-Y-A 1064 3 100 150 um 25.4 圆形
    TH-102-I-Y-A 1064 6 100 150 um 25.4 圆形
    TH-103-I-Y-A 1064 9 1000 10x10 mm 25.4 方形
    TH-202-A-Y-A 10600 14.5 79.5 370um 20 圆形
    TH-203-D-Y-A 2940 4 80 200 um 11 圆形
    TH-204-Q-Y-A 532 3.5 105 200x200um 25.4 方形
    ST-200-C-Y-A 9250 12 63.5 260x260um 27.94 方形
    TH-032-Q-Y-A 532 10.9 200 2mm 25.4 圆形
    TH-031-Q-Y-A 532 5 52.4 100 um 25.4 圆形
    TH-005-C-Y-A 9250 12 62.9 350 um 27.94 圆形
    TH-226-A-Y-A 10600 4 100 3x3mm 20 方形
    TH-231-I-Y-A 1064 5 100 0.2x0.6mm 12.7 长方形
    TH-004-A-Y-A 10600 12 63.4 390 um 27.94 圆形
    TH-003-A-Y-A 10600 3.7 41 650um 12.7 线形
    TH-244-U-Y-A 355 12 50 35x13um 25.4 长方形
    TH-033-X-Y-A 800 6 200 3 mm 25.4 圆形
    TH-012-H-Y-A 1319 7 43.2 170 um 20 圆形
    TH-008-C-Y-A 9250 10 62.9 260x260 um 27.94 方形
    TH-232-X-Y-A 1070 12 150 300x300um 38.1 方形
    TH-007-C-Y-A 9250 25 121 14.2X1.7 mm 38.1 长方形
    TH-006-A-Y-A 10600 25 125 15X1 mm 38.1 长方形
    ST-208-X-Y-A 1070 14 75 500x500um 30 方形
    ST-205-I-Y-A 1064 7 100 210x210um 25.4 方形
    TH-044-1-Y-A 337 8 49.4 20 um 20 圆形
    TH-224-X-Y-A 1070 14 75.76 1x1mm 38.1 方形

    角光束整形器

    型号 波长[nm] 入射光斑直径[mm] 聚焦发散角[mrad] 像尺寸[um]*   元件大小[mm] 像形状
    TH-238-I-Y-A 1064 3 6 600 11 圆形
    ST-206-I-Y-A 1064 10 2.7 270 25.4 线形
    ST-219-I-Y-A 1064 4 0.52 52 11 圆形
    ST-225-I-Y-A 1064 4.5 0.47 47 25.4 方形
    ST-234-I-Y-A 1064 7 0.3 30 25.4 方形
    ST-237-I-Y-A 1064 9 0.23 23 25.4 圆形
    ST-241-I-Y-A 1064 10 0.2 20 25.4 圆形
    PT-001-I-N-A 1064 6 0.56 56 30 方形
    TH-258-I-Y-A 1064 10 0.48 48 25.4 方形
    ST-212-I-Y-A 1064 7 1 100 20 方形
    ST-277-I-Y-A 1064 7 0.3 30 25.4 线形
    TH-227-I-Y-A 1064 3 13.3 1330 11 圆形
    ST-283-I-Y-A 1064 12 0.36x1.80 36.0x180.0 25.4 长方形
    TH-215-I-Y-A 1064 6 1 100 25.4 圆形
    ST-286-I-Y-A 1064 12 0.35x2.70 35.0x270.0 25.4 长方形
    TH-015-I-Y-A 1064 5.1 14.5 1450 25.4 线形
    TH-013-I-Y-A 1064 7 17.5 1750 25.4 方形
    ST-303-I-Y-A 1064 7.5 0.28 28 25.4 圆形
    ST-221-I-Y-A 1064 4.7 0.44 44 25.4 圆形
    ST-238-I-Y-A 1064 10 0.2 20 25.4 方形
    ST-239-I-Y-A 1064 6 0.35 35 25.4 圆形
    ST-240-I-Y-A 1064 8 0.26 26 25.4 圆形
    ST-222-I-Y-A 1064 5 0.41 41 25.4 圆形
    PT-002-I-Y-A 1064 7.5 45.18x2.64 4518.8x264.0 40x40 长方形
    ST-259-I-Y-A 1064 2 1.04 104 11 圆形
    ST-260-I-Y-A 1064 3 0.69 69 11 圆形
    PT-001-I-Y-A 1064 6 0.56 56 30 方形
    ST-289-I-Y-A 1064 3.5 0.6 60 11 圆形
    TH-249-I-Y-A 1064 3.2 0.74 74 12.5 线形
    TH-246-I-Y-A 1064 6 4.2 420 25.4 圆形
    TH-239-I-Y-A 1064 4.7 0.51 51 12.5 线形
    ST-227-I-Y-A 1064 4 2 200 11 框形
    ST-267-I-Y-A 1064 2 1.04 104 11 线形
    ST-268-I-Y-A 1064 3 0.69 69 11 线形
    ST-269-I-Y-A 1064 4 0.52 52 11 线形
    ST-270-I-Y-A 1064 5 0.43 43 11 线形
    ST-271-I-Y-A 1064 2 1.3 130 11 圆形
    ST-272-I-Y-A 1064 3 0.87 87 11 圆形
    ST-273-I-Y-A 1064 5 0.52 52 25.4 圆形
    ST-275-I-Y-A 1064 8 0.26 26 25.4 线形
    ST-276-I-Y-A 1064 10 0.21 21 25.4 线形
    ST-228-I-Y-A 1064 4 24 2400.1 11 框形
    ST-278-I-Y-A 1064 9 0.23 23 25.4 线形
    ST-229-I-Y-A 1064 4 12 1200 11 方形
    TH-221-I-Y-A 1064 2.2 3.2 320 11 方形
    ST-281-I-Y-A 1064 6 0.34 34 25.4 线形
    ST-282-I-Y-A 1064 6 0.34 34 25.4 方形
    ST-230-I-Y-A 1064 7 0.29 29 20 圆形
    TH-220-I-Y-A 1064 1.125 6.2 620 11 方形
    ST-231-I-Y-A 1064 3 8.7 870 11 线形
    ST-232-I-Y-A 1064 3 17.67 1767 11 线形
    ST-220-I-Y-A 1064 4 0.53 53 11 方形
    ST-235-I-Y-A 1064 8 0.26 26 25.4 方形
    ST-315-I-Y-A 1064 1.5 1.39 139 11 方形
    ST-290-I-Y-A 1064 3.5 0.6 60 11 方形
    ST-291-I-Y-A 1064 2 1.02 102 11 方形
    ST-292-I-Y-A 1064 2.5 0.81 81 11 方形
    ST-293-I-Y-A 1064 3 0.68 68 11 方形
    ST-294-I-Y-A 1064 2.5 0.83 83 11 线形
    ST-295-I-Y-A 1064 3.5 0.59 59 11 线形
    ST-296-I-Y-A 1064 4.5 0.46 46 11 线形
    ST-297-I-Y-A 1064 2.5 0.84 84 11 圆形
    ST-298-I-Y-A 1064 4.5 0.47 47 11 圆形
    ST-299-I-Y-A 1064 5.7 0.4 40 11 圆形
    ST-300-I-Y-A 1064 5.7 0.49 49 11 圆形
    ST-301-I-Y-A 1064 5.7 0.37 37 12.5 圆形
    ST-302-I-Y-A 1064 5.7 0.48 48 12.5 圆形
    ST-236-I-Y-A 1064 9 0.23 23 25.4 方形
    ST-307-I-Y-A 1064 1 2.08 208 11 圆形
    ST-308-I-Y-A 1064 1 2.08 208 11 方形
    ST-312-I-Y-A 1064 1 2.08 208 11 线形
    ST-313-I-Y-A 1064 1.5 1.39 139 11 线形
    ST-314-I-Y-A 1064 1.5 1.39 139 11 圆形
    ST-263-I-Y-A 1064 12 0.36x2.39 36.0x239.0 25.4 长方形
    ST-207-I-Y-A 1064 10 0.6 60 25.4 圆形
    ST-288-I-Y-A 1064 12 0.36x3.30 36.0x330.0 25.4 长方形
    ST-287-I-Y-A 1064 12 0.35x2.99 35.5x299.0 25.4 长方形
    ST-285-I-Y-A 1064 12 0.36x2.40 36.0x240.0 25.4 长方形
    ST-284-I-Y-A 1064 12 0.36x2.10 36.0x210.0 25.4 长方形
    ST-280-I-Y-A 1064 12 0.36x3.30 36.5x330.0 25.4 长方形
    TH-225-I-Y-A 1064 1.2 23.7 2370.1 11 Dollar
    ST-279-I-Y-A 1064 12 0.36x3.00 36.0x300.0 25.4 长方形
    TH-228-I-Y-A 1064 3 10 1000 11 圆形
    TH-236-I-Y-A 1064 6 7.2 720 25.4  10x10网格
    TH-237-I-Y-A 1064 6 7.2 720 25.4 11线形
    ST-266-I-Y-A 1064 12 0.37x2.40 36.9x239.5 25.4 长方形
    ST-265-I-Y-A 1064 12 0.37x2.09 37.2x209.1 25.4 长方形
    ST-264-I-Y-A 1064 12 0.36x2.69 36.5x269.0 25.4 长方形
    TH-248-I-Y-A 1064 5 5.60x0.94 560.0x94.0 25.4 长方形
    TH-002-I-Y-A 1064 12 2.4 240 27.94 方形
    TH-252-I-Y-A 1064 6 20 2000.1 25.4 圆形
    TH-253-I-Y-A 1064 12 0.65x2.97 65.0x297.0 25.4 长方形
    TH-254-I-Y-A 1064 12 0.81x2.36 81.0x236.0 25.4 长方形
    TH-255-I-Y-A 1064 12 1.10x1.77 110.0x177.0 25.4 长方形
    TH-256-I-Y-A 1064 12 0.40x4.79 40.0x479.0 25.4 长方形
    TH-257-I-Y-A 1064 12 0.36x5.39 36.0x539.0 25.4 长方形
    ST-262-I-Y-A 1064 12 0.36x2.10 36.0x210.0 25.4 长方形
    TH-259-I-Y-A 1064 6 3.19 319 25.4 方形
    TH-260-I-Y-A 1064 6 1.71 171 25.4 方形
    TH-105-I-Y-A 1064 7.5 0.54 54 25.4 圆形
    ST-261-I-Y-A 1064 12 0.36x1.78 35.8x178.0 25.4 长方形
    ST-258-I-Y-A 1064 10 3.9 390 25.4 线形
    ST-223-I-Y-A 1064 6 3 300 25.4 线形
    PT-003-I-Y-A 1064 3.2 22.77 2277.1 12.7x12.7 线形
    PT-005-I-Y-A 1064 5 3.29 329 25.4 圆形
    PT-006-I-Y-A 1064 2 40.30x57.10 4030.5x5711.6 12.7 椭圆形

    *焦距100mm

    应用于扫描系统的微型光束整形器(~1.5X衍射极限)

    具有平顶能量分布的激光束被广泛地应用于各种材料处理领域,主要包括扫描仪和场镜系统中基片上的准直聚焦。我们最近推出了具有1.5倍衍射极限的光束整形器,价格较常规产品便宜。该光束整形器主要应用于高功率激光下的扫描聚焦系统,将衍射光束整形器置于扫描镜之前,可在场镜工作平面得到平顶分布的光斑,并且不会改变系统的聚焦距离。

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